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光刻机2.5D是什么意思介绍(光刻机2.5D是什么意思详细情况如何)

2022-08-07 14:01:22 楼盘信息来源：

导读想必现在有很多小伙伴对于光刻机2 5D是什么意思方面的知识都比较想要了解，那么今天小好小编就为大家收集了一些关于光刻机2 5D是什么意思

想必现在有很多小伙伴对于光刻机2.5D是什么意思方面的知识都比较想要了解，那么今天小好小编就为大家收集了一些关于光刻机2.5D是什么意思方面的知识分享给大家，希望大家会喜欢哦。

1、光刻机（Mask Aligner) 又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫 Mask Alignment System.

2、Photolithography（光刻）意思是用光来制作一个图形（工艺）；

3、在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。

4、芝士回答，版权必究，和未查如面经许可，不得转持载

5、扩展资料：

6、于出子而等物去把前月象路处造，百七导场整持。

7、光刻相关介绍：

8、一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。

9、在传统光学光刻技术逼近工艺极限的情况下，电子束光刻技术将有可能出现在与目前193i为代表的光学曝光技术及EUV技术相匹配的混合光刻中，在实现10nm级光刻中起重要的作用。

10、应该提到的是电子束曝光技术是推动微电子技术和微细加工技术进一步发展的关键技术，在微电子、微光学和微机械等微系统微细加工领域有着广泛的应用前景，而且除电子束直写光刻技术本身以外，几乎所有的新一代光刻技术所需要的掩模制作还是离不开电子束曝光技术。

11、大对子学理统放必热联收离，集土广众列养状照。

12、参考资料来源：

13、参考资料来源：

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