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导读相信目前很多小伙伴对于真空度传感器的工作原理是什么都比较感兴趣,那么小编今天在网上也是收集了一些与真空度传感器的工作原理是什么相关...
相信目前很多小伙伴对于真空度传感器的工作原理是什么都比较感兴趣,那么小编今天在网上也是收集了一些与真空度传感器的工作原理是什么相关的信息来分享给大家,希望能够帮助到大家哦。
真空传感器由玻璃衬底、下电极、绝缘层、硅膜片(上电极)、上层密封用的玻璃组成,其中下电极溅射在玻璃衬底上,电极上生长一绝缘层;硅膜是利用硅片的双面光刻、扩散和各向异性腐蚀技术形成的。那么真空度传感器的工作原理是什么呢?
1、真空传感器的工作原理是介质的压力直接作用在传感器的膜片上,使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这个压力的标准信号。
2、真空传感器是工业实践中常用的一种压力传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及石油管道、水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、通风管道等众多行业。
关于真空度传感器的工作原理是什么的相关内容就介绍到这里了。
本文到此结束,希望对大家有所帮助。
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