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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用（电感耦合等离子体刻蚀系统）

2022-08-27 20:39:34 百科全书来源：

导读当前大家对于电感耦合等离子体刻蚀系统都是颇为感兴趣的，大家都想要了解一下电感耦合等离子体刻蚀系统，那么小美也是在网络上收集了一些...

当前大家对于电感耦合等离子体刻蚀系统都是颇为感兴趣的，大家都想要了解一下电感耦合等离子体刻蚀系统，那么小美也是在网络上收集了一些关于电感耦合等离子体刻蚀系统的一些信息来分享给大家，希望能够帮到大家哦。

1、电感耦合等离子体刻蚀系统是一种用于物理学、材料科学领域的工艺试验仪器。

2、于2015年10月21日启用。

本文到此结束，希望对大家有所帮助。

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